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省エネ
業(yè)種?工程別
結(jié)晶Si系製造工程
薄膜Si系製造工程
用途別
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拡散爐
5
pn接合形成
n層を形成。
クリーン
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溫度コントロール
耐熱
耐食
省配線
高真空
フッ素樹脂
センサ（検出）
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