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太陽電池製造工程向機(jī)器

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高真空

スリットバルブ XGT

高真空機(jī)器 ? スリットバルブ

?半導(dǎo)體裝置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。

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シリーズ	使用環(huán)境圧力 Pa（abs）	使用流體	開口窓寸法（高さ×幅）mm	作動圧力 MPa（G）
XGT	大気圧～10^-6	不活性ガス系の真空	32×222 46×236 50×336	0.45～0.6

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