凹凸や表面に粘性のあるワーク（太陽電池セル）の
吸著搬送が可能。

?非接觸チャック

XT661

動作原理
供給ポートから導(dǎo)入されたエアが円筒部側(cè)面にあるノズルから噴き出され、円筒部內(nèi)部で旋回流となり真空を発生させます。（サイクロン効果）
供給エアは吸著面とワークの間から、大気に放出されます。その結(jié)果、サイクロンパッドとワークの間にエア層が発生し、非接觸での吊上げが可能になります。

薄膜用基板の「振動」「たわみ」を防止。