●限水閥

安裝于水冷式冷凝器的冷卻水配管，可調(diào)節(jié)流入水冷式冷凝器的冷卻水流量的控制閥。有壓力式、溫度式等，可反饋冷凝壓力、冷凝溫度并調(diào)節(jié)閥的開度。
冷卻水的溫度低時，若流入水冷式冷凝器的冷卻水流量過大，會導(dǎo)致冷凝壓力下降，冷卻能力降低。此時限水閥會對冷卻水進(jìn)行節(jié)流，使冷凝壓力保持在希望的數(shù)值。另外不會使過量的冷卻水流過的節(jié)水效果也是限水閥的一項(xiàng)功能。

●旋渦泵

泵的形式之一。通過泵室中的葉輪旋轉(zhuǎn)，使流體獲得離心力，將該力轉(zhuǎn)換為壓力并將流體輸出。雖然與離心式泵相同，都是依靠離心力輸出流體，但渦輪泵相對于離心式泵葉輪，葉片數(shù)更多、與泵室內(nèi)壁的間隙更小，是一種可輸出更高的壓力的構(gòu)造。
可以得到處于離心式泵和葉片泵之間的壓力和流量特性。
這是一種中揚(yáng)程、中流量的泵。

●循環(huán)液、恒溫循環(huán)液

由溫控器控制溫度，在客戶裝置間循環(huán)的流體。
應(yīng)考慮凍結(jié)溫度、沸點(diǎn)、絕緣性等因素并結(jié)合用途選擇清水、去離子水（純水）、乙二醇水溶液或氟化液等作為循環(huán)液。

●信號輸入輸出、I/O

警報信號、運(yùn)轉(zhuǎn)信號等的輸入輸出信號。根據(jù)型號的不同，有繼電器輸出、集電極開路輸出等。由于有各種各樣的通信方法，所以在配線前需要確認(rèn)其通信標(biāo)準(zhǔn)。