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省エネ
業(yè)種?工程別
結(jié)晶Si系製造工程
薄膜Si系製造工程
用途別
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セル搬送
9
セル搬送
サイクロンパッドによりセルを吸著搬送する。
クリーン
駆動機(jī)器
耐熱
非接觸搬送
低真空
靜電気
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センサ（検出）
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