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產(chǎn)品目錄

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縫閥

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對(duì)應(yīng)300mm晶片 平行密封型縫閥 XGTP

    ?長(zhǎng)壽命：300萬(wàn)次（常溫時(shí)）
    ?發(fā)塵量：減少1/5以下（與以前產(chǎn)品相比）
    ?維護(hù)性提高
    　容易更換波紋管
    　可通過(guò)頂部拆裝門（訂制）
    ?安全對(duì)策
    　采用機(jī)械式端鎖機(jī)構(gòu)
  • 對(duì)應(yīng)300mm晶片 平行密封型縫閥 XGTP
    說(shuō)明書
    系列 查看搜索結(jié)果
    XGTP查看搜索結(jié)果
系列使用環(huán)境壓力（Pa）使用流體開口窗尺寸
（高×寬）（mm）		動(dòng)作壓力
（MPa）
XGTP大氣壓～10-6惰性氣體50×3360.45～0.6

縫閥 XGT

    ?適用于半導(dǎo)體裝置等的負(fù)載鎖定室和傳送腔室
    　及傳送腔室和工藝腔室之間的隔離閥。
系列使用環(huán)境壓力（Pa）使用流體開口窗尺寸
（高×寬）（mm）		動(dòng)作壓力
（MPa）
XGT大氣壓～10-6惰性氣體類相關(guān)真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

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