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產(chǎn)品目錄

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縫閥

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對應300mm晶片 平行密封型縫閥 XGTP

    ?長壽命:300萬次(常溫時)
    ?發(fā)塵量:減少1/5以下(與以前產(chǎn)品相比)
    ?維護性提高
     容易更換波紋管
     可通過頂部拆裝門(訂制)
    ?安全對策
     采用機械式端鎖機構
系列使用環(huán)境壓力(Pa)使用流體開口窗尺寸
(高×寬)(mm)
動作壓力
(MPa)
XGTP大氣壓~10-6惰性氣體50×3360.45~0.6

縫閥 XGT

    ?適用于半導體裝置等的負載鎖定室和傳送腔室
     及傳送腔室和工藝腔室之間的隔離閥。
系列使用環(huán)境壓力(Pa)使用流體開口窗尺寸
(高×寬)(mm)
動作壓力
(MPa)
XGT大氣壓~10-6惰性氣體類相關真空32×222
46×236
50×336
0.45~0.6

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