●ARW幅（アンチリセットワインドアップ幅）
PID制御に使用する積分動作の範囲。積分成分が蓄積される
のを抑制するために、積分項目を計算する範囲を指定する
ために用いる値。
●SEMI S8
SEMI S8は、SEMI S2の14項の人間工學に関する要求に加え、さらに詳しい人間工學に関するガイドラインである。
●SEMI F47
SEMI F47はSEMI規(guī)格の內、電圧サグイミュニティ（瞬時電圧低下に対する耐性）について規(guī)定されたガイドラインである。
溫調機器にはSEMI S2と同様に半導體製造ユーザから求められる規(guī)格である。
●SEMI S2
SEMIは半導體製造裝置?フラットパネルディスプレイ製造裝置と材料メーカの國際的な業(yè)界団體で、獨自のSEMIスタンダードを半導體製造裝置の設計に関する安全ガイドラインとして制定している。
SEMI S2には、半導體製造に使用される裝置に対する作業(yè)環(huán)境、衛(wèi)生および安全についてその要求事項は、化學、放射、電気、物理、機械、環(huán)境、火災、地震、排気、人間工學、さらに、品質、文書、マニュアルなどに及んでいる。
多くの半導體製造者は、工場で稼動する裝置に対してSEMIS2に適合することを求める。
●SV値
SV：Set Value 溫調機器においては、溫度コントロールを行う目標溫度（設定溫度）を示す。
●エチレングリコール水溶液
エチレングリコールはアルコールの一種で、水に添加することで水の凝固點を下げることができる。自動車用不凍液などの主成分ともなっている。60％濃度での凝固點は約－40℃以下であるが、低溫になると粘度が増加するので、流動性を考えると－20℃程度が実用的に使える最低溫度である。
また脫イオン水（純水）にエチレングリコールを添加することで、流體の比抵抗を上げることができるので、絶縁性の高い循環(huán)液がほしい場合の用途にも使われる。
●NRTL
NRTL（National Recongnized Test Laboratories 國家認定試験機関）
OSHA（米國労働安全局）が定める労働安全衛(wèi)生法によって認められた、UL規(guī)格、CSAなどの認証が行える試験機関のこと?，F(xiàn)在18機関がNRTLとして認められている。ULやCSAも認証機関の一つ。
