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スリットバルブ

スリットバルブ XGT

    ?半導體裝置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • スリットバルブ XGT
    取扱説明書
    シリーズ 検索結(jié)果を表示
    XGT検索結(jié)果を表示
シリーズ使用環(huán)境圧力 Pa（abs）使用流體開口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動圧力
MPa（G）
XGT大気圧～10-6不活性ガス系の真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

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