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ノングリース 窒素（N<sub>2</sub>ノングリース 窒素（N2）対応機(jī)器
? プロセスガス用機(jī)器
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テーマ?業(yè)種別カタログ
プロセスガス用機(jī)器
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
-
?半導(dǎo)體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
?ガスの遮斷弁として使用。
?接ガス部にスプリングがなく、駆動(dòng)部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
取扱説明書(shū)
シリーズ 形式 検索結(jié)果を表示 AP エアオペレートダイヤフラムバルブ 検索結(jié)果を表示 AP マニュアルタイプダイヤフラムバルブ 検索結(jié)果を表示 AP メータリングバルブ 検索結(jié)果を表示 AZ エアオペレートダイヤフラムバルブ 検索結(jié)果を表示 AZ マニュアルタイプダイヤフラムバルブ 検索結(jié)果を表示 AZ メータリングバルブ 検索結(jié)果を表示 AK エアオペレートダイヤフラムバルブ 検索結(jié)果を表示 AK マニュアルタイプダイヤフラムバルブ 検索結(jié)果を表示 AK メータリングバルブ 検索結(jié)果を表示
安全上のご注意 プロセスガス用機(jī)器/共通注意事項(xiàng) バリエーション 推奨機(jī)種 技術(shù)資料/用語(yǔ)解説 特定開(kāi)発品情報(bào) グリーン対応（RoHS）
| シリーズ | 名稱 | 形式 | ボディ材質(zhì) |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | メータリングバルブ | SUS316 |
