排気ライン
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
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?アルミボディ採用
均一なベーキング溫度
軽量?コンパクト
アウトガスが少ない
重金屬汚染が少ない
?ベローズ交換が可能
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLAV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLC-2 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLF-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回?cái)?shù) | 16~80 |
XLFV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回?cái)?shù) | 16~80 |
XLG-2 | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回?cái)?shù) | 16~80 |
アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100?160(-1)-X152
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?ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
?壽命:200萬回
?裝置の省スペース化が可能
排気方向制限なし(弁體側(cè)←→ベローズ側(cè) 両方向可能)
取付姿勢の自由度アップ
?軽量?コンパクト
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA-100?160-X152 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100,160 |
XLC-100?160-1-X152 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100,160 |
アルミ製高真空L型バルブ XL□
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?フッ素に強(qiáng)い。
?アウトガスが少ない。
?重金屬汚染が少ない。
※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16~80は2017年9月に
モデルチェンジしました。
XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
XLAV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
XLC | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
XLCV(電磁弁付) | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
XLF | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回?cái)?shù) | (80)?100?160 |
XLFV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回?cái)?shù) | (80)?100?160 |
XLG | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回?cái)?shù) | 100?160 |
XLGV(電磁弁付) | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回?cái)?shù) | 100?160 |
XLD | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負(fù)荷防止 | 25~160 |
XLDV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負(fù)荷防止 | 25~160 |
XLH | 手動 | 手動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~50 |
XLS | 電磁式 | 単動 (N.C.) | (ベローズバランス) | エア不要 可搬裝置用 | 16,25 |
アルミ製ワンタッチ著脫 高真空L型バルブ XLAQ?XLDQ

シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質(zhì) | フランジ サイズ |
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XLAQ | エア オペレート | ベローズシール | 単動 (N.C.) | ボディ:アルミ ベローズ:SUS316L | 16~50 |
XLDQ | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動 (N.C.) | ボディ:アルミ ベローズ:SUS316L | 40,50 |
ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ XM/XY

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?ガス溜まりのない精密鋳造一體構(gòu)造。
?アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)
注)ストレート型にサイズ16はありません。
シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質(zhì) | フランジ サイズ |
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XMA/XYA | エア オペレート | ベローズシール | 単動 (N.C.) | ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng)) ベローズ:SUS316L | 16~80 注) |
XMC/XYC | エア オペレート | ベローズシール | 複動 | ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng)) ベローズ:SUS316L | 16~80 注) |
XMD/XYD | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動 (N.C.) | ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng)) ベローズ:SUS316L | 25~80 |
XMH/XYH | 手動 | ベローズシール | 手動 | ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng)) ベローズ:SUS316L | 16~50 注) |
コンパクト5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ JSY1000/3000/5000
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?JSY1000用スペーサ形エジェクタの高消音サイレンサ追加 [New]
?流量UPでサイズダウン可能。
省スペース?軽量化?大流量化に貢獻(xiàn)します。
?消費(fèi)電力:0.1W(節(jié)電回路付)、0.4W(標(biāo)準(zhǔn))
?コネクタ接続マニホールド
?4位置デュアル3ポート弁を準(zhǔn)備
?マニホールド型式:JJ5SY1,JJ5SY3,JJ5SY5
?真空ユニットZK2 Seriesとの連結(jié)が可能
シリーズ | 流量特性 4/2→3/5(A/B→E) C[dm3/(s?bar)] | 流量特性 4/2→3/5(A/B→E) b | シリンダ駆動 サイズ | 消費(fèi)電力(W) |
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JSY1000 | 0.91 | 0.48 | φ40 | 0.2(節(jié)電回路付) |
JSY3000 | 2.77 | 0.27 | φ50 | 0.4(標(biāo)準(zhǔn)) 0.1(節(jié)電回路付) |
JSY5000 | 6.59 | 0.22 | φ80 | 0.4(標(biāo)準(zhǔn)) 0.1(節(jié)電回路付) |
コンパクト5ポートソレノイドバルブ ノンプラグイン JSY1000/3000/5000
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?直接配管形 単體形(P.Eプレート搭載)に3 位置追加 [New]
?流量UPでサイズダウン可能。
省スペース?軽量化?大流量化に貢獻(xiàn)します。
?消費(fèi)電力:0.1W(節(jié)電回路付)、0.4W(標(biāo)準(zhǔn))
?4位置デュアル3ポート弁を準(zhǔn)備
?裏配管を用意(A,Bポート)
?マニホールド型式:JJ5SY1、JJ5SY3、JJ5SY5
?M12コネクタ対応(JSY5000)
シリーズ | 流量特性 4/2→3/5(A/B→E) C[dm3/(s?bar)] | 流量特性 4/2→3/5(A/B→E) b | シリンダ駆動 サイズ | 消費(fèi)電力(W) |
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JSY1000 | 0.63 | 0.28 | φ32 | 0.2(節(jié)電回路付) |
JSY3000 | 1.81 | 0.27 | φ50 | 0.4(標(biāo)準(zhǔn)) 0.1(節(jié)電回路付) |
JSY5000 | 3.72 | 0.18 | φ80 | 0.4(標(biāo)準(zhǔn)) 0.1(節(jié)電回路付) |
4ポートソレノイドバルブ/カセットタイプマニホールド SJ1000/2000/3000/4000
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?ベースレス構(gòu)造の低背形カセットタイプ。
?ボディ幅6.5mm(SJ1000)、7.5mm(SJ2000)、
10mm(SJ3000A)、15mm(SJ4000)による省スペースタイプ。
?SJシリーズ5サイズのバルブ混載を?qū)g現(xiàn)
?コネクタ接続により連數(shù)の増減、バルブの交換が容易。
?ワンサイドソレノイド。
?4位置デュアル3ポート弁仕様あり。
?マニホールド型式:SS5J1, SS5J2, SS5J3, SS5J4
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規(guī)設(shè)備/裝置の設(shè)計(jì)の際は、他のシリーズ(EX260/EX600)の
使用をご検討ください。
シリーズ | 流量特性 4/2→3/5 (A/B→E) C[dm3/ (s?bar)] | 流量特性 4/2→3/5 (A/B→E) b | 流量特性 4/2→3/5 (A/B→E) Cv | シリンダ駆動 サイズ 速度: 100㎜/sの時 | 消費(fèi)電力(W) |
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SJ1000 | 0.32 | 0.33 | 0.08 | ?32 | 0.55(標(biāo)準(zhǔn)) 0.23(節(jié)電回路付) |
SJ2000 | 0.36 | 0.13 | 0.08 | ?40 | 0.55(標(biāo)準(zhǔn)) 0.23(節(jié)電回路付) |
SJ3000 | 0.56 | 0.11 | 0.12 | ?50 | 0.4(標(biāo)準(zhǔn)) 0.15(節(jié)電回路付) |
SJ3000A 大流量タイプ | 0.76 | 0.19 | 0.21 | ?63 | 0.4(標(biāo)準(zhǔn)) 0.15(節(jié)電回路付) |
SJ4000 | 2.61 | 0.20 | 0.68 | ?80 | 0.4(標(biāo)準(zhǔn)) 0.15(節(jié)電回路付) |
5ポートソレノイドバルブ SY3000/5000/7000/9000

45G型マニホールド
(フラットケーブル PCワイヤリング対応)
掲載カタログはこちら
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?3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。
?消費(fèi)電力:0.1W(節(jié)電回路付)
?アルミ一體型マニホールド、DINレール、分割形マニホールドなど豊富なマニホールドオプション。
?マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7,SS5Y9
?スペーサ形減圧弁に対応
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規(guī)設(shè)備/裝置の設(shè)計(jì)の際は、他のシリーズ(EX260/EX600)の
使用をご検討ください。
シリーズ | 流量特性 4/2→5/3(A/B→EA/EB) C[dm3/(s?bar)] | 流量特性 4/2→5/3(A/B→EA/EB) b | 流量特性 4/2→5/3(A/B→EA/EB) Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費(fèi)電力(W) |
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SY3000 | 1.1 | 0.30 | 0.26 | φ40 | 0.35(標(biāo)準(zhǔn)) 0.1(節(jié)電回路付) |
SY5000 | 2.8 | 0.29 | 0.66 | φ63 | 0.35(標(biāo)準(zhǔn)) 0.1(節(jié)電回路付) |
SY7000 | 4.5 | 0.27 | 1.1 | φ80 | 0.35(標(biāo)準(zhǔn)) 0.1(節(jié)電回路付) |
SY9000 | 10 | 0.29 | 2.5 | φ100 | 0.35(標(biāo)準(zhǔn)) 0.1(節(jié)電回路付) |
SY300 | 1.1 | 0.30 | 0.26 | φ40 | 0.35(標(biāo)準(zhǔn)) 0.1(節(jié)電回路付) |
SY500 | 2.8 | 0.29 | 0.66 | φ63 | 0.35(標(biāo)準(zhǔn)) 0.1(節(jié)電回路付) |
4位置デュアル3ポート弁 直接配管形/ベース配管形 SY5000/7000-X701
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1つのボディに2つの3ポート弁內(nèi)蔵
?外形寸法はダブルソレノイドと同じ
?A側(cè)、B側(cè)の3ポート弁がそれぞれ獨(dú)立して作動可能
?3ポート弁で使用する場合、今までの半分の連數(shù)で済みます。
?標(biāo)準(zhǔn)SY5000/7000シリーズ 5ポートソレノイドバルブのマニホールドベース
に混載可能
配管形 | シリーズ | 4位置デュアル3ポート 切換方式 |
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直接配管形 ベース配管形 | SY5000 SY7000 | N.C./N.C. N.O./N.O. N.C./N.O. |