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WEBカタログ

製品情報 ?  WEBカタログ  ? 半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器  ? 排気ライン

排気ライン

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アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

    ?アルミボディ採用
     均一なベーキング溫度
     軽量?コンパクト
     アウトガスが少ない
     重金屬汚染が少ない
    ?ベローズ交換が可能
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLAV-2(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLC-2エア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLF-2エア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回?cái)?shù)
16~80
XLFV-2(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回?cái)?shù)
16~80
XLG-2エア
オペレート
複動Oリングシール高速作動
高作動回?cái)?shù)
16~80

アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100?160(-1)-X152

    ?ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
    ?壽命:200萬回
    ?裝置の省スペース化が可能
     排気方向制限なし(弁體側(cè)←→ベローズ側(cè) 両方向可能)
     取付姿勢の自由度アップ
    ?軽量?コンパクト
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
用途フランジ
サイズ
XLA-100?160-X152エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
100,160
XLC-100?160-1-X152エア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
100,160

アルミ製高真空L型バルブ XL□

    ?フッ素に強(qiáng)い。
    ?アウトガスが少ない。
    ?重金屬汚染が少ない。

    ※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16~80は2017年9月に
      モデルチェンジしました。

      XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
用途フランジ
サイズ
XLAエア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
100?160
XLAV(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
100?160
XLCエア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
100?160
XLCV(電磁弁付)エア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
100?160
XLFエア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回?cái)?shù)
(80)?100?160
XLFV(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回?cái)?shù)
(80)?100?160
XLGエア
オペレート
複動Oリングシール高速作動
高作動回?cái)?shù)
100?160
XLGV(電磁弁付)エア
オペレート
複動Oリングシール高速作動
高作動回?cái)?shù)
100?160
XLDエア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシール
Oリングシール
ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負(fù)荷防止
25~160
XLDV(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシール
Oリングシール
ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負(fù)荷防止
25~160
XLH手動手動ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~50
XLS電磁式単動
(N.C.)
(ベローズバランス)エア不要
可搬裝置用
16,25

アルミ製ワンタッチ著脫 高真空L型バルブ XLAQ?XLDQ

  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した狀態(tài)で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス?ウェブ?ツー?キャド株式會社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス?ウェブ?ツー?キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

シリーズ操作方式軸シール
方式
弁形式材質(zhì)フランジ
サイズ
XLAQエア
オペレート
ベローズシール単動
(N.C.)
ボディ:アルミ
ベローズ:SUS316L
16~50
XLDQエア
オペレート
ベローズシール
Oリングシール
単動
(N.C.)
ボディ:アルミ
ベローズ:SUS316L
40,50

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ XM/XY

    ?ガス溜まりのない精密鋳造一體構(gòu)造。
    ?アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)

    注)ストレート型にサイズ16はありません。
シリーズ操作方式軸シール
方式
弁形式材質(zhì)フランジ
サイズ
XMA/XYAエア
オペレート
ベローズシール単動
(N.C.)
ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng))
ベローズ:SUS316L
16~80 注)
XMC/XYCエア
オペレート
ベローズシール複動ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng))
ベローズ:SUS316L
16~80 注)
XMD/XYDエア
オペレート
ベローズシール
Oリングシール
単動
(N.C.)
ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng))
ベローズ:SUS316L
25~80
XMH/XYH手動ベローズシール手動ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng))
ベローズ:SUS316L
16~50 注)

コンパクト5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ JSY1000/3000/5000

    ?JSY1000用スペーサ形エジェクタの高消音サイレンサ追加 [New]
    ?流量UPでサイズダウン可能。
     省スペース?軽量化?大流量化に貢獻(xiàn)します。
    ?消費(fèi)電力:0.1W(節(jié)電回路付)、0.4W(標(biāo)準(zhǔn))
    ?コネクタ接続マニホールド
    ?4位置デュアル3ポート弁を準(zhǔn)備
    ?マニホールド型式:JJ5SY1,JJ5SY3,JJ5SY5
    ?真空ユニットZK2 Seriesとの連結(jié)が可能
シリーズ流量特性
4/2→3/5(A/B→E)
C[dm3/(s?bar)]
流量特性
4/2→3/5(A/B→E)
b
シリンダ駆動
サイズ
消費(fèi)電力(W)
JSY10000.910.48φ400.2(節(jié)電回路付)
JSY30002.770.27φ500.4(標(biāo)準(zhǔn))
0.1(節(jié)電回路付)
JSY50006.590.22φ800.4(標(biāo)準(zhǔn))
0.1(節(jié)電回路付)

コンパクト5ポートソレノイドバルブ ノンプラグイン JSY1000/3000/5000

    ?直接配管形 単體形(P.Eプレート搭載)に3 位置追加 [New]
    ?流量UPでサイズダウン可能。
     省スペース?軽量化?大流量化に貢獻(xiàn)します。
    ?消費(fèi)電力:0.1W(節(jié)電回路付)、0.4W(標(biāo)準(zhǔn))
    ?4位置デュアル3ポート弁を準(zhǔn)備
    ?裏配管を用意(A,Bポート)
    ?マニホールド型式:JJ5SY1、JJ5SY3、JJ5SY5
    ?M12コネクタ対応(JSY5000)
シリーズ流量特性
4/2→3/5(A/B→E)
C[dm3/(s?bar)]
流量特性
4/2→3/5(A/B→E)
b
シリンダ駆動
サイズ
消費(fèi)電力(W)
JSY10000.630.28φ320.2(節(jié)電回路付)
JSY30001.810.27φ500.4(標(biāo)準(zhǔn))
0.1(節(jié)電回路付)
JSY50003.720.18φ800.4(標(biāo)準(zhǔn))
0.1(節(jié)電回路付)

4ポートソレノイドバルブ/カセットタイプマニホールド SJ1000/2000/3000/4000

製品特長

60JD、60GD型マニホールド
(フラットケーブル PCワイヤリング対応)
掲載カタログはこちら

    ?ベースレス構(gòu)造の低背形カセットタイプ。
    ?ボディ幅6.5mm(SJ1000)、7.5mm(SJ2000)、
     10mm(SJ3000A)、15mm(SJ4000)による省スペースタイプ。
    ?SJシリーズ5サイズのバルブ混載を?qū)g現(xiàn)
    ?コネクタ接続により連數(shù)の増減、バルブの交換が容易。
    ?ワンサイドソレノイド。
    ?4位置デュアル3ポート弁仕様あり。
    ?マニホールド型式:SS5J1, SS5J2, SS5J3, SS5J4

    ※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
     新規(guī)設(shè)備/裝置の設(shè)計(jì)の際は、他のシリーズ(EX260/EX600)の
     使用をご検討ください。
シリーズ流量特性
4/2→3/5
(A/B→E)
C[dm3/
(s?bar)]
流量特性
4/2→3/5
(A/B→E)
b
流量特性
4/2→3/5
(A/B→E)
Cv
シリンダ駆動
サイズ
速度:
100㎜/sの時
消費(fèi)電力(W)
SJ10000.320.330.08?320.55(標(biāo)準(zhǔn))
0.23(節(jié)電回路付)
SJ20000.360.130.08?400.55(標(biāo)準(zhǔn))
0.23(節(jié)電回路付)
SJ30000.560.110.12?500.4(標(biāo)準(zhǔn))
0.15(節(jié)電回路付)
SJ3000A
大流量タイプ
0.760.190.21?630.4(標(biāo)準(zhǔn))
0.15(節(jié)電回路付)
SJ40002.610.200.68?800.4(標(biāo)準(zhǔn))
0.15(節(jié)電回路付)

5ポートソレノイドバルブ SY3000/5000/7000/9000

45G型マニホールド
(フラットケーブル PCワイヤリング対応)
掲載カタログはこちら

    ?3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。
    ?消費(fèi)電力:0.1W(節(jié)電回路付)
    ?アルミ一體型マニホールド、DINレール、分割形マニホールドなど豊富なマニホールドオプション。
    ?マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7,SS5Y9
    ?スペーサ形減圧弁に対応

    ※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
     新規(guī)設(shè)備/裝置の設(shè)計(jì)の際は、他のシリーズ(EX260/EX600)の
     使用をご検討ください。
シリーズ流量特性
4/2→5/3(A/B→EA/EB)
C[dm3/(s?bar)]
流量特性
4/2→5/3(A/B→EA/EB)
b
流量特性
4/2→5/3(A/B→EA/EB)
Cv
シリンダ駆動
サイズ
消費(fèi)電力(W)
SY30001.10.300.26φ400.35(標(biāo)準(zhǔn))
0.1(節(jié)電回路付)
SY50002.80.290.66φ630.35(標(biāo)準(zhǔn))
0.1(節(jié)電回路付)
SY70004.50.271.1φ800.35(標(biāo)準(zhǔn))
0.1(節(jié)電回路付)
SY9000100.292.5φ1000.35(標(biāo)準(zhǔn))
0.1(節(jié)電回路付)
SY3001.10.300.26φ400.35(標(biāo)準(zhǔn))
0.1(節(jié)電回路付)
SY5002.80.290.66φ630.35(標(biāo)準(zhǔn))
0.1(節(jié)電回路付)

4位置デュアル3ポート弁 直接配管形/ベース配管形 SY5000/7000-X701

    1つのボディに2つの3ポート弁內(nèi)蔵
    ?外形寸法はダブルソレノイドと同じ
    ?A側(cè)、B側(cè)の3ポート弁がそれぞれ獨(dú)立して作動可能
    ?3ポート弁で使用する場合、今までの半分の連數(shù)で済みます。
    ?標(biāo)準(zhǔn)SY5000/7000シリーズ 5ポートソレノイドバルブのマニホールドベース
     に混載可能
配管形シリーズ4位置デュアル3ポート
切換方式
直接配管形
ベース配管形
SY5000
SY7000
N.C./N.C.
N.O./N.O.
N.C./N.O.

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